新一代電子顯微鏡發展趨勢

新一代電子顯微鏡發展趨勢

來源： 類別：技術文章 更新時間：2008-10-13 13:45:35 閱讀6次

一、高性能場發射槍電子顯微鏡日趨普及和應用。 場發射槍透射電鏡能夠提供高亮度、高相幹性的電子光源。因而能在原子--納米尺度上對材料的原子排列和種類進行綜合分析。九十年代中期，*隻有幾十台；現在已猛增至上千台。我國目前也有上百台以上場發射槍透射電子顯微鏡。 常規的熱鎢燈絲(si) （電子）槍掃描電子顯微鏡，分辨率zui高隻能達到3.0nm；新一代的場發射槍掃描電子顯微鏡，分辨率可以優(you) 於(yu) 1.0nm；超高分辨率的掃描電鏡，其分辨率高達0.5nm-0.4nm。其中環境描電子顯微鏡可以做到：真正的“環境”條件，樣品可在100%的濕度條件下觀察；生物樣品和非導電樣品不要鍍膜，可以直接上機進行動態的觀察和分析；可以“一機三用”。高真空、低真空和“環境”三種工作模式。 二、努力發展新一代單色器、球差校正器，以進一步提高電子顯微鏡的分辨率。 球差係數:常規的透射電鏡的球差係數Cs約為(wei) mm級；現在的透射電鏡的球差係數已降低到Cs<0.05mm. 色差係數:常規的透射電鏡的色差係數約為(wei) 0.7；現在的透射電鏡的色差係數已減小到0.1。 場發射透射電鏡、STEM技術、能量過濾電鏡已經成為(wei) 材料科學研究,甚至生物醫學*的分析手段和工具. 物鏡球差校正器把場發射透射電鏡分辨率提高到信息分辨率.即從(cong) 0.19nm提高到0.12nm甚至於(yu) 小於(yu) 0.1nm. 利用單色器，能量分辨率將小於(yu) 0.1eV.但單色器的束流隻有不加單色器時的十分之一左右.因此利用單色器的同時,也要同時考慮單色器的束流的減少問題。 聚光鏡球差校正器把STEM的分辨率提高到小於(yu) 0.1nm的同時,聚光鏡球差校正器把束流提高了至少10倍,非常有利於(yu) 提高空間分辨率。 在球差校正的同時，色差大約增大了30%左右.因此,校正球差的同時,也要同時考慮校正色差. 三、電子顯微鏡分析工作邁向計算機化和網絡化。 在儀(yi) 器設備方麵，目前掃描電鏡的操作係統已經使用了全新的操作界麵。用戶隻須按動鼠標，就可以實現電鏡鏡筒和電氣部分的控製以及各類參數的自動記憶和調節。 不同地區之間,可以通過網絡係統，演示如樣品的移動，成像模式的改變,電鏡參數的調整等。以實現對電鏡的遙控作用. 四、電子顯微鏡在納米材料研究中的重要應用。 由於(yu) 電子顯微鏡的分析精度逼近原子尺度，所以利用場發射槍透射電鏡，用直徑為(wei) 0.13nm的電子束，不僅(jin) 可以采集到單個(ge) 原子的Z-襯度像，而且還可采集到單個(ge) 原子的電子能量損失譜。即電子顯微鏡可以在原子尺度上可同時獲得材料的原子和電子結構信息。觀察樣品中的單個(ge) 原子像，始終是科學界長期追求的目標。一個(ge) 原子的直徑約為(wei) 1千萬(wan) 分之2-3mm。 所以，要分辯出每個(ge) 原子的位置，需要0.1nm左右的分辨率的電鏡，並把它放大約1千萬(wan) 倍才行。人們(men) 預測，當材料的尺度減少到納米尺度時，其材料的光、電等物理性質和力學性質可能具有*性。因此，納米顆粒、納米管、納米絲(si) 等納米材料的製備，以及其結構與(yu) 性能之間關(guan) 係的研究成為(wei) 人們(men) 十分關(guan) 注的研究熱點。 利用電子顯微鏡，一般要在200KV以上超高真空場發射槍透射電鏡上，可以觀察到納米相和納米線的高分辨電子顯微鏡像、納米材料的電子衍射圖和電子能量損失譜。如，在電鏡上觀察到內(nei) 徑為(wei) 0.4nm的納米碳管、Si-C-N納米棒、以及Li摻雜Si的半導體(ti) 納米線等。 在生物醫學領域，納米膠體(ti) 金技術、納米硒保健膠囊、納米級水平的細胞器結構，以及納米機器人可以小如細菌，在血管中監測血液濃度，清除血管中的血栓等的研究工作，可以說都與(yu) 電子顯微鏡這個(ge) 工具分不開。 總之： 掃描電鏡、透射電鏡在材料科學特別納米科學技術上的地位日益重要。穩定性、操作性的改善使得電鏡不再是少數專(zhuan) 家使用的儀(yi) 器，而變成普及性的工具；更高分辨率依舊是電鏡發展的zui主要方向；掃描電鏡和透射電鏡的應用已經從(cong) 表征和分析發展到原位實驗和納米可視加工；聚焦離子束(FIB)在納米材料科學研究中得到越來越多的應用；FIB/SEM雙束電鏡是目前集納米表征、納米分析、納米加工、納米原型設計的zui強大工具；矯正型STEM(Titan)的目標：2008年實現0.5Å分辨率下的3D結構表征。 五、低溫電鏡技術和三維重構技術是當前生物電子顯微學的研究熱點。 低溫電鏡技術和三維重構技術是當前生物電子顯微學的研究熱點.主要是研討利用低溫電子顯微鏡（其中還包括了液氦冷台低溫電鏡的應用）和計算機三維像重構技術，測定生物大分子及其複合體(ti) 三維結構。如利用冷凍電子顯微學測定病毒的三維結構和在單層脂膜上生長膜蛋白二維晶體(ti) 及其電鏡觀察和分析。 當今結構生物學引起人們(men) 的高度重視，因為(wei) 從(cong) 係統的觀點看生物界，它有不同的層次結構:個(ge) 體(ti) ®器官®組織®細胞®生物大分子。雖然生物大分子處於(yu) zui低位置,可它決(jue) 定高層次係統間的差異。三維結構決(jue) 定功能結構是應用的基礎:藥物設計,基因改造,疫苗研製開發,人工構建蛋白等，有人預言結構生物學的突破將會(hui) 給生物學帶來革命性的變革。 電子顯微學是結構測定重要手段之一。低溫電子顯微術的優(you) 點是：樣品處於(yu) 含水狀態，分子處於(yu) 天然狀態；由於(yu) 樣品在輻射下產(chan) 生損傷(shang) ，觀測時須采用低劑量技術（lowdosetechnique)；觀測溫度低，增強了樣品耐受輻射能力；可將樣品凍結在不同狀態，觀測分子結構的變化，通過這些技術，使各種生物樣品的觀察分析結果更接近真實的狀態。 六、高性能CCD相機日漸普及應用於(yu) 電子顯微鏡中 CCD的優(you) 點是靈敏度高，噪音小，具有高信噪比。在相同像素下CCD的成像往往通透性、明銳度都很好，色彩還原、曝光可以保證基本準確，攝像頭的圖像解析度/分辨率也就是我們(men) 常說的多少像素，在實際應用中，攝像頭的像素越高，拍攝出來的圖像品質就越好，對於(yu) 同一畫麵，像素越高的產(chan) 品它的解析圖像的能力也越強，但相對它記錄的數據量也會(hui) 大得多，所以對存儲(chu) 設備的要求也就高得多。 當今的TEM領域，新開發的產(chan) 品*使計算機控製的，圖象的采集通過高分辨的CCD攝像頭來完成，而不是照相底片。數字技術的潮流正從(cong) 各個(ge) 方麵推動TEM應用以至整個(ge) 實驗室工作的*變革。尤其是在圖象處理軟件方麵，許多過去認為(wei) 不可能的事正在成為(wei) 現實。